龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司
申请日：2024-03-13
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118286953A
主分类号：B01F35/71
分类号：B01F35/71;B01F35/80;B01F23/40;B01F101/27
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本发明涉及一种改进研磨液配比装置使用高纯水的技术方法，所属硅片加工技术领域，改进设备包括混液箱，所述的混液箱上端设有纯水箱，所述的纯水箱，所述的纯水箱上部设有与纯水箱相连通的进水管，所述的进水管上设有注水电动球阀，所述的纯水箱下部与混液箱上端间设有送水管，所述的送水管上设有流量控制阀，所述的混液箱侧边设有回水箱，所述的纯水箱上部低于进水管的位置与回水箱间设有溢流管。具有结构紧凑、运行稳定性好和使用效果好的特点。解决了出现异常时纯水外溢的问题。避免了浪费，同时及时警示维修人员进行排查处理。
主权项：1.一种改进研磨液配比装置使用高纯水的技术方法，其特征在于：改进设备包括混液箱（8），所述的混液箱（8）上端设有纯水箱（5），所述的纯水箱（5），所述的纯水箱（5）上部设有与纯水箱（5）相连通的进水管（1），所述的进水管（1）上设有注水电动球阀（2），所述的纯水箱（5）下部与混液箱（8）上端间设有送水管（10），所述的送水管（10）上设有流量控制阀（9），所述的混液箱（8）侧边设有回水箱（7），所述的纯水箱（5）上部低于进水管（1）的位置与回水箱（7）间设有溢流管（6）；改进的技术方法包括如下操作步骤：第一步：当需要混液时，流量控制阀（9）闭合，注水电动球阀（2）打开，使得进水管（1）对纯水箱（5）进行纯水注入；第二步：当达到混合所需量的时候，注水电动球阀（2）闭合，流量控制阀（9）打开，使得纯水箱（5）内的纯水经过送水管（10）注入到混液箱（8）内；第三步：当注水电动球阀（2）出现异常无法闭合时，流量控制阀（9）在混液箱（8）注入所需量后闭合，纯水箱（5）内的水位升至溢流管（6）处，通过溢流管（6）将溢出的纯水回流至回水箱（7）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州中欣晶圆半导体股份有限公司 改进研磨液配比装置使用高纯水的技术方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号