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申请/专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日：2024-03-14
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118291927A
主分类号：C23C14/30
分类号：C23C14/30
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：一种电子束蒸发镀膜装置包括安装锅、坩埚盘以及电子束蒸发源，安装锅设有多个安装孔，各安装孔用于安装待镀膜的晶圆衬底；坩埚盘设有多个坩埚，所述多个坩埚用于盛放不同类型的镀膜材料；电子束蒸发源用于发出电子束，以将坩埚盘上的多个坩埚中的不同类型的镀膜材料按照规定顺序电子束蒸发，以使至少一个晶圆衬底上镀制至少两种类型的镀膜材料的膜层；电子束蒸发镀膜装置还包括多个遮挡机构；所述多个遮挡机构与所述多个安装孔一一对应，各遮挡机构具有遮挡盘，遮挡盘用于：在电子束蒸发一种类型的镀膜材料时，若对应的安装孔内安装的晶圆衬底需要镀制，则使晶圆衬底露出，以进行镀膜，且在达到规定的膜厚后进行遮挡；若不需要镀制，则遮挡。
主权项：1.一种电子束蒸发镀膜装置，其特征在于，包括安装锅1、坩埚盘2以及电子束蒸发源3，安装锅1设有多个安装孔11，各安装孔11用于安装待镀膜的晶圆衬底200；坩埚盘2设有多个坩埚21，所述多个坩埚21用于盛放不同类型的镀膜材料；电子束蒸发源3用于发出电子束，以将坩埚盘2上的多个坩埚21中的不同类型的镀膜材料按照规定顺序电子束蒸发，以使至少一个晶圆衬底200上镀制至少两种类型的镀膜材料的膜层；电子束蒸发镀膜装置100还包括多个遮挡机构4；所述多个遮挡机构4与所述多个安装孔11一一对应，各遮挡机构4具有遮挡盘41，遮挡盘41用于：在坩埚盘2上的坩埚21电子束蒸发一种类型的镀膜材料时，若对应的安装孔11内安装的晶圆衬底200需要镀制该种类型镀膜材料，则使该对应的安装孔11内安装的晶圆衬底200露出，以进行镀膜，且在镀膜的膜层达到规定的膜厚后，将该对应的安装孔11内安装的晶圆衬底200进行遮挡；若对应的安装孔11内安装的晶圆衬底200不需要镀制该种类型镀膜材料，则将该对应的安装孔11内安装的晶圆衬底200进行遮挡。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽光智科技有限公司 电子束蒸发镀膜装置
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