龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：应用材料以色列公司
申请日：2023-12-21
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118297785A
主分类号：G06T1/20
分类号：G06T1/20;H01L21/66
优先权：["20230104 US 18/093,302"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.07.05#公开
摘要：提供了用于自动地确定沿第一方向和或沿与所述第一方向正交的第二方向覆盖试样的多个裸片的多个区以供检定系统获取的方法和系统。选择所述区沿所述第一方向的尺寸以使得能够优化由所述检定系统获取的片的总重叠水平以覆盖所述多个区。区沿所述第二方向的尺寸使得所述检定系统用于处理每个区的图像所使用的总并行计算能力能够最大化。
主权项：1.一种包含处理器和存储器电路系统PMC的系统，所述PMC被配置为：-获得检定系统的照射斑的尺寸W斑，使得所述检定系统能够沿扫描方向获取包含多个裸片的半导体试样的片；-获得提供所述半导体试样的所述多个裸片中的每个裸片的至少一个尺寸D裸片_X的信息的数据，其中所述尺寸被限定为沿与所述扫描方向正交的方向；-使用W斑来沿所述方向确定要在所述半导体试样中获取的多个区中的每个区的尺寸D区_X，其中所述尺寸D区_X大于所述尺寸D裸片_X，其中所述尺寸D区_X经选择以使得能够生成优化配方，在所述优化配方中，所述检定系统对所述多个区的获取与由所述检定系统获取的片之间的总重叠水平相关联，所述总重叠水平满足优化标准；并且-使用所述尺寸D区_X以使得能够生成用于所述检定系统的所述优化配方，由此使得能够由所述检定系统获取所述试样的所述多个区。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料以色列公司 检定工具的配方的优化
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号