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申请/专利权人：江苏西迈科技有限公司
申请日：2023-01-03
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118292098A
主分类号：C30B23/02
分类号：C30B23/02;C30B23/00;C30B23/06;C30B29/02;C30B29/38
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：一种外延装置、使用该外延装置生长石墨烯的方法和使用该外延装置生长氮化硼的方法。该外延装置包括外延炉、真空腔装置和传样装置；外延炉，包括第一接口；真空腔装置包括中转真空腔和至少一个工艺腔；传样装置包括第二接口、耐高温样品台和旋转升降机构；外延炉、真空腔装置和传样装置沿第一方向依次设置，各工艺腔与中转真空腔沿与第一方向相交的方向设置；中转真空腔包括在第一方向上相对设置的第三接口和第四接口，第一接口与第三接口密封连接，第二接口与第四接口密封连接，以在外延炉、真空腔装置和传样装置中形成传样通道，旋转升降机构被配置为驱动耐高温样品台在传样通道中运动。该外延装置具有较高的产品质量和较高的生产效率。
主权项：1.一种外延装置，包括：外延炉，包括第一接口；真空腔装置，包括中转真空腔和至少一个工艺腔；传样装置，包括第二接口、耐高温样品台和旋转升降机构；其中，所述外延炉、所述真空腔装置和所述传样装置沿第一方向依次设置，各所述工艺腔与所述中转真空腔沿与所述第一方向相交的方向设置；所述中转真空腔包括在所述第一方向上相对设置的第三接口和第四接口，所述第一接口与所述第三接口密封连接，所述第二接口与所述第四接口密封连接，以在所述外延炉、所述真空腔装置和所述传样装置中形成传样通道，所述旋转升降机构被配置为驱动所述耐高温样品台在所述传样通道中运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏西迈科技有限公司 外延装置和采用外延装置生长石墨烯和氮化硼的方法
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