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申请/专利权人：镭神技术(深圳)有限公司
申请日：2024-04-15
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118294782A
主分类号：G01R31/28
分类号：G01R31/28;H01L21/66;G01R1/02;G01R1/04
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本申请涉及一种多向运动测试装置。用于与位于指定位置处的加电头配套使用，所述多向运动测试装置包括：第一驱动机构；第二驱动机构，所述第二驱动机构设置在所述第一驱动机构上，所述第一驱动机构用于驱动所述第二驱动机构沿第一方向做直线运动；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构设置在所述第二驱动机构上，所述第二驱动机构用于驱动所述旋转驱动机构沿与所述第一方向垂直的第二方向做直线运动；承载夹具，设置在所述旋转驱动机构上并用于装夹半导体芯片，所述旋转驱动机构用于驱动所述承载夹具绕沿第三方向延伸的转轴产生转动，所述第三方向同时垂直于所述第一方向和所述第二方向。如此可以提高多向运动测试装置的稳定性和可靠性。
主权项：1.一种多向运动测试装置，用于与位于指定位置处的加电头配套使用，其特征在于，所述多向运动测试装置包括：第一驱动机构；第二驱动机构，所述第二驱动机构设置在所述第一驱动机构上，所述第一驱动机构用于驱动所述第二驱动机构沿第一方向做直线运动；旋转驱动机构，所述旋转驱动机构设置在所述第二驱动机构上，所述第二驱动机构用于驱动所述旋转驱动机构沿与所述第一方向垂直的第二方向做直线运动；承载夹具，设置在所述旋转驱动机构上并用于装夹半导体芯片，所述旋转驱动机构用于驱动所述承载夹具绕沿第三方向延伸的转轴产生转动，所述第三方向同时垂直于所述第一方向和所述第二方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 镭神技术(深圳)有限公司 多向运动测试装置
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