买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司

摘要：本发明提供一种二维运动平台装置，第一滑动结构与第一运动台中心部刚性连接、两侧部柔性连接；第一运动台与第二方向测量尺中心部刚性连接、两侧部柔性连接。本发明通过第一滑动结构、第二方向测量尺与第一运动台中心刚性连接两侧柔性连接，使第二方向测量尺不随第一运动台热形变而位置漂移，提高运动台测量精度；同时设置第一解耦面、第二解耦面在第二方向长度小于安装面，减小第一运动台的热形变对第二方向测量尺位置的影响；另外设置第二柔性件为低膨胀系数材料，降低第二方向测量尺受热形变的影响；最后在第一解耦面和第二解耦面分别设置第二方向长度最小的第一位置和第二位置，进一步减小第一运动台热形变对第二方向测量尺位置的影响。

主权项：1.一种二维运动平台装置，其特征在于，包括：第一方向运动系统和第二方向运动系统；所述第一方向运动系统包括：第一运动台11、基台12、第一滑动结构；所述第一运动台11通过所述第一滑动结构沿着第一方向滑动连接于所述基台12；所述第一滑动结构包括相对设置的导轨部分和滑块部分；所述导轨部分固定设置于所述基台12；所述滑块部分与所述第一运动台11的中心部刚性连接，与所述第一运动台11的两侧部柔性连接；所述第一运动台11的两侧部关于所述第一运动台11的中心部沿着第二方向对称设置；所述第一运动台11相对垂直于第二方向的第一对称面A-A呈自对称，所述第一运动台11的中心部对应所述第一对称面A-A的位置设置；所述第二方向运动系统包括：第二运动台21，以及相对设置的第二方向测量尺241和第二方向测量读头242；所述第二运动台21沿着第二方向滑动连接于所述第一运动台11；所述第二方向测量尺241的中心部与所述第一运动台11刚性连接，所述第二方向测量尺241的两侧部与所述第一运动台11柔性连接；所述第二方向测量尺241的两侧部关于所述第二方向测量尺241的中心部沿着第二方向对称设置；所述第二方向测量尺241相对垂直于第二方向的第二对称面呈自对称，所述第二方向测量尺241的中心部对应所述第二对称面的位置设置；所述第二方向测量读头242固定设置于所述第二运动台21；所述第一滑动结构相对垂直于第二方向的第三对称面呈自对称，所述第一对称面A-A、所述第二对称面和所述第三对称面重合；所述第一方向与所述第二方向垂直；所述二维运动平台装置还包括：第二连接件23；所述第二连接件23包括安装座231、中心固连结构232和两组第二柔性件233，所述安装座231的一面与所述第二方向测量尺241固定，另一面分别与所述中心固连结构232、所述第二柔性件233固定；所述第二方向测量尺241通过所述中心固连结构232与所述第一运动台11刚性连接；所述第二方向测量尺241通过所述第二柔性件233与所述第一运动台11柔性连接；所述中心固连结构232对应所述第二方向测量尺241的中心部设置；两组所述第二柔性件233分别对应所述第二方向测量尺241的两侧部设置；两组所述第二柔性件233关于所述中心固连结构232沿着第二方向对称设置。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 上海隐冠半导体技术有限公司 一种二维运动平台装置