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申请/专利权人：中国矿业大学
申请日：2024-04-01
公开（公告）日：2024-07-05
公开（公告）号：CN118289763A
主分类号：C01B32/984
分类号：C01B32/984;C30B35/00;C30B29/36
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.23#实质审查的生效;2024.07.05#公开
摘要：本发明公开一种碳化硅粉合成设备及合成方法，包括炉体、炉盖、晶种盒、传输装置、冷却装置、加热装置和炉体控制系统，炉体内部形成生长室，生长室内放置有坩埚，炉体侧壁和坩埚侧壁均同轴开设有测温孔，坩埚侧壁上的测温孔通过石英玻璃密封；炉盖装配在炉体上部，用于密封炉体；晶种盒装配在坩埚上部，晶种盒底部设有出料机构；传输装置与生长室相连，用于向坩埚内输送碳粉；冷却装置用于为炉体降温；加热装置包括感应线圈，感应线圈用于为坩埚加热；炉体控制系统用于控制传输装置、冷却装置和加热装置工作或停止工作。本发明能够控制碳化硅粉粒径的大小，提高碳化硅粉的堆积密度，从而使用该碳化硅粉能够生长出更厚的碳化硅晶体。
主权项：1.一种碳化硅粉合成设备，其特征在于，包括炉体，所述炉体内部形成生长室，所述生长室内放置有坩埚，所述炉体侧壁和坩埚侧壁均同轴开设有测温孔，所述坩埚侧壁上的测温孔通过石英玻璃密封；炉盖，所述炉盖装配在所述炉体上部，用于密封所述炉体；晶种盒，所述晶种盒装配在所述坩埚上部，所述晶种盒底部设有出料机构；传输装置，所述传输装置与所述生长室相连，用于向所述坩埚内输送碳粉；冷却装置，所述冷却装置用于为所述炉体降温；加热装置，所述加热装置为感应线圈，所述感应线圈用于为所述坩埚加热；炉体控制系统，所述炉体控制系统用于控制传输装置、冷却装置和加热装置工作或停止工作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国矿业大学 一种碳化硅粉合成设备及合成方法
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