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申请/专利权人：无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;江苏优普纳科技有限公司
申请日：2023-09-19
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN221257427U
主分类号：F16C32/06
分类号：F16C32/06
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.07.02#授权
摘要：本实用新型公开了一种静压导轨，涉及超精密技术领域，静压导轨包括：中部设有凹型定位槽的底座、滑块、溜板、驱动部件、立柱和盖板。滑块设有多个油腔、与底座滑动连接，每个油腔设有一个或多个测压点，测压设备可以通过管道与测压点连接获取油腔的压力；溜板固定在滑块上方，溜板设有进油孔，从而与进油管道连接，使得液压油经由进油孔进入各油腔；驱动部件安装在定位槽中，可以驱动滑块运动；立柱安装在底座上垂直于定位槽方向的两侧；盖板安装在立柱上方。根据本实用新型的静压导轨，可以通过与滑块上的各个测压点连接，监测各油腔内的压力数值，从而根据压力数值分析静压导轨的性能，并根据分析结果对静压导轨的结构设计进行改进。
主权项：1.一种静压导轨，适于外接测压设备，其特征在于，包括：底座；滑块，与所述底座滑动连接，所述滑块设有多个油腔，每个所述油腔设有一个或多个测压点，所述测压设备适于通过管道与各所述测压点连接，以检测各所述油腔内的压力；溜板，固定连接于所述滑块上方，所述溜板设有进油孔，所述进油孔适于与进油管道连接，以便液压油经由进油孔进入各所述油腔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心 江苏优普纳科技有限公司 一种静压导轨
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