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申请/专利权人：空中客车西班牙有限责任公司
申请日：2023-12-29
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN118275750A
主分类号：G01R19/00
分类号：G01R19/00;G01B11/02
优先权：["20221229 ES P202231114"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.07.02#公开
摘要：本公开内容涉及使用微机电系统和光学干涉仪相互作用的电压测量装置。一种电压值测量装置1000，包括：至少一个微机电装置120，其包括可连接至电压源110的阳极x的第一电极A和可连接至所述电压源110的阴极y的第二电极B，其中，微机电装置120被配置成接收来自电压源110的电压，从而引起与所述电压相关联的第一电极A的偏差，其中，所述偏差引起第一电极A与第二电极B之间的距离变化；以及光学处理器140，其包括激光器140a和光学传感器140b。
主权项：1.一种电压测量装置1000，包括：至少一个微机电装置120，其包括能够连接至电压源110的阳极x的第一电极A和能够连接至所述电压源110的阴极y的第二电极B，其中，所述微机电装置120被配置成接收来自所述电压源110的电压，从而引起与所述电压相关联的所述第一电极A的位移，其中，所述位移引起所述第一电极A与所述第二电极B之间的距离的变化；以及光学处理器140，其包括激光器140a和光学传感器140b，所述光学处理器140被配置成：使用所述激光器140a将光束通过激光注入点投射在所述第一电极A上；借助于所述光学传感器140b检测所述光束的反射，其中，所述第一电极A与所述激光注入点之间的距离变化产生所述光束的至少一个反射的变化；基于所述光束和所述光束的反射获得干涉图案；以及基于所述干涉图案来计算施加至所述电极的所述电压的值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 空中客车西班牙有限责任公司 使用微机电系统和光学干涉仪相互作用的电压测量装置
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