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申请/专利权人：台湾永光化学工业股份有限公司
申请日：2023-08-02
公开（公告）日：2024-07-02
公开（公告）号：CN118276409A
主分类号：G03F7/038
分类号：G03F7/038;G03F7/027;G03F7/004
优先权：["20221230 TW 111150841"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.07.19#实质审查的生效;2024.07.02#公开
摘要：本发明提供一种聚酰亚胺负型光阻组成物，包括：30wt％至90wt％的聚酰亚胺前驱物；0.1wt％至10wt％的光起始剂；1wt％至10wt％的酯类单体；0.1wt％至3wt％的如下式I所示的环化触媒；以及余量溶剂；其中，R1如说明书中所定义。此外，本发明还提供前述聚酰亚胺负型光阻组成物的用途。
主权项：1.一种聚酰亚胺负型光阻组成物，其特征在于，包括：30wt％至90wt％的聚酰亚胺前驱物；0.1wt％至10wt％的光起始剂；1wt％至10wt％的酯类单体；0.1wt％至3wt％的如下式I所示的环化触媒；以及余量溶剂； 其中，R1为C4-7烷基、-O-COOR2或-COOR3，R2为C1-6烷基，R3为C1-6烷基或H。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 台湾永光化学工业股份有限公司 聚酰亚胺负型光阻组成物及其用途
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