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一种肖特基二极管及制造方法 

申请/专利权人:广东致能科技有限公司

申请日:2022-12-29

公开(公告)日:2024-07-02

公开(公告)号:CN118281080A

主分类号:H01L29/872

分类号:H01L29/872;H01L21/329;H01L29/06

优先权:

专利状态码:在审-实质审查的生效

法律状态:2024.07.19#实质审查的生效;2024.07.02#公开

摘要:本发明涉及一种肖特基二极管,包括:第一沟道层;第二沟道层;第一势垒层,其中在所述第一沟道层中靠近所述第一沟道层与所述第一势垒层的界面处包括垂直的第一二维载流子气;第二势垒层,其中在所述第二沟道层中靠近所述第二沟道层与所述第二势垒层的界面处包括垂直的第二二维载流子气;其中,所述第一沟道层和所述第二沟道层在所述第一势垒层和所述第二势垒层之间;第一电极,其与所述第一二维载流子气和第二二维载流子气电连接并形成欧姆接触;第二电极,其与所述第一二维载流子气和第二二维载流子气电连接并与所述第一势垒层和第二势垒层形成肖特基接触。本申请还涉及一种肖特基二极管的制造方法。

主权项:1.一种肖特基二极管,包括:第一沟道层;第二沟道层;第一势垒层,其中在所述第一沟道层中靠近所述第一沟道层与所述第一势垒层的界面处包括垂直的第一二维载流子气;第二势垒层,其中在所述第二沟道层中靠近所述第二沟道层与所述第二势垒层的界面处包括垂直的第二二维载流子气;其中,所述第一沟道层和所述第二沟道层在所述第一势垒层和所述第二势垒层之间;第一电极,其与所述第一二维载流子气和第二二维载流子气电连接并形成欧姆接触;第二电极,其与所述第一二维载流子气和第二二维载流子气电连接并形成肖特基接触。

全文数据:

权利要求:

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