申请/专利权人：佛山市晶玻科技有限公司

申请日：2022-11-02

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN115627449B

主分类号：C23C14/34

分类号：C23C14/34;G06F17/18

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2023.02.14#实质审查的生效;2023.01.20#公开

摘要：本发明提供了一种曲面玻璃镀膜工艺，执行本发明曲面玻璃镀膜工艺的组件为镀膜机总装，镀膜机总装由依次连接的上片架、前粗抽室、前精抽室、前缓冲精抽室、镀膜室、后缓冲精抽室、后精抽室、后粗抽室、纠偏架、下片架，其中在前粗抽室、前精抽室、前缓冲精抽室、后缓冲精抽室、后精抽室、后粗抽室底部均设置一个真空泵，在镀膜室底部设置有两个真空泵；具体步骤如下：S1：曲面玻璃扫描；S2：后台系统计算；S3：曲面玻璃镀膜；S4：曲面玻璃下片。

主权项：1.一种曲面玻璃镀膜工艺，其特征在于该工艺采用镀膜机总装完成，镀膜机总装由依次连接的上片架1、前粗抽室2、前精抽室3、前缓冲精抽室4、镀膜室5、后缓冲精抽室6、后精抽室7、后粗抽室8、纠偏架9、下片架10组成，其中在前粗抽室2、前精抽室3、前缓冲精抽室4、后缓冲精抽室6、后精抽室7、后粗抽室8底部均设置一个真空泵11，在镀膜室5底部设置有两个真空泵11；上片架1上设置有CCD扫描装置12，用于扫描待镀膜的曲面玻璃的拱高以及拱长；S1：曲面玻璃扫描：将待加工的曲面玻璃放置于满载送料盘13，满载送料盘13运行至上片架1，机器人抓取待加工的曲面玻璃放置于上片架1，CCD扫描装置12对待加工的曲面玻璃进行扫描，获取该曲面玻璃的拱高H以及拱长L数据，并将所述数据传输至后台系统；S2：后台系统计算：后台系统获取预设的镀膜厚度Q，并结合已获取的曲面玻璃的拱高以及拱长数据，计算四组靶材的溅射功率以及镀膜传动速度，并基于计算的溅射功率以及镀膜传动速度预先调试镀膜室5的参数以及传送速度；S3：曲面玻璃镀膜：打开前粗抽室隔板，将曲面玻璃送入前粗抽室，关闭前粗抽室，通过真空泵对前粗抽室抽真空，达到粗抽真空精度，保持预定时间；打开前精抽室隔板，将曲面玻璃送入前精抽室，关闭前精抽室，通过真空泵对前精抽室抽真空，达到精抽真空精度，保持预定时间；打开前缓冲精抽室隔板，将曲面玻璃送入前缓冲精抽室，通过真空泵对后缓冲精抽室抽真空，进行气体隔离后，保持预定时间，将曲面玻璃送入镀膜室，按照预设的参数依次控制四组靶材的溅射功率以及镀膜传动速度，对曲面玻璃进行镀膜；打开后缓冲精抽室隔板将完成镀膜的曲面玻璃送入后缓冲精抽室，关闭后缓冲精抽室，通过真空泵对后缓冲精抽室抽真空，进行气体隔离后，保持预定时间；打开后精抽室隔板，将曲面玻璃送入后精抽室，关闭后精抽室，通过真空泵对后精抽室抽真空，达到精抽真空精度，保持预定时间；打开后粗抽室隔板，将曲面玻璃送入后粗抽室，关闭后粗抽室，通过真空泵对后粗抽室抽真空，达到粗抽真空精度，保持预定时间；S4：曲面玻璃下片：将完成镀膜的曲面玻璃，由后粗抽室输送至纠偏架进行纠偏，完成纠偏后的玻璃进入下片架，空载送料盘14运行至下片架，机器人抓取完成镀膜的曲面玻璃放置于空载送料盘14；每个室与其相邻的室之间均设有独立的真空阀以及隔板，用于隔绝腔室之间的真空度；还包括磁射部件，该磁射部件共四组设于镀膜室5，具体包括镀膜靶材5-1、靶材阴极连接铜板5-2、靶材阳极连接铜板5-3、电机5-4；S2步骤中具体计算公式如下：获取预设镀膜厚度为Q的平板玻璃的所需的四组靶材的溅射功率w以及镀膜传动速度v，对于平板玻璃，四组靶材的溅射功率相同，将曲面拱长L四等分，获取拱长L4处的拱高H1以及3L4处的拱高H2，则位于第一位置的靶材溅射功率W1以及镀膜传动速度v1公式如下： 其中，第一位置为位于侧部最先接触曲面玻璃靶材的位置；位于第二位置的靶材溅射功率W2以及镀膜传动速度v2公式如下： 其中，第二位置为位于中间部第二接触曲面玻璃靶材的位置；位于第三位置的靶材溅射功率W3以及镀膜传动速度v3公式如下： 其中，第三位置为位于中间部第三接触曲面玻璃靶材的位置；位于第四位置的靶材溅射功率W4以及镀膜传动速度v4公式如下：

全文数据：

权利要求：

百度查询： 佛山市晶玻科技有限公司 曲面玻璃镀膜工艺

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。

阅读全文 双屏查看 官方信息 专利公告 收藏专利 下载PDF 下载WORD