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申请/专利权人：国成仪器(常州)有限公司
申请日：2022-12-27
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256998A
主分类号：C30B29/36
分类号：C30B29/36;C30B23/00;C30B25/00;C30B15/00;F27D21/02;F27D21/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明涉及晶体生长炉技术，特别涉及一种晶体生长炉的观察窗。本发明由真空晶体炉腔体、保温层、与真空晶体炉腔体内部相通的窗孔上密封固定的四通连接管组成。四通连接管上设有密封固定透明窗口、固定密封塞的第一拉杆、固定镜子的第二拉杆。本发明通过向下推动第一拉杆与保温层形成完好热密封，向上拉动第一拉杆移动密封塞，透过窗口能观察到镜子里反射的炉内画面，能测量炉内温度。本发明提供了一种实时观察炉内晶体生长情况的窗口，通过该窗口能及时了解炉内晶体的形貌、长速、质量，便于采取有效措施，调整炉内温度等参数，控制晶体生长质量及经济成本。本发明热密封性能良好，观察时对炉内温度等参数影响小，设计简单、安全可靠、利于推广。
主权项：1.一种晶体生长炉的观察窗，包括真空晶体炉腔体（13），保温层（12），与真空晶体炉腔体（13）内部相通的窗孔，其特征在于，所述窗孔固定连接四通连接管（1），四通连接管上接口（5）与第一拉杆（6）密封相连接，四通连接管第一侧接口（2）设有密封固定透明窗口（3），所述密封固定透明窗口（3）可以通过测温所需的电磁波波段，四通连接管第二侧接口（8）与第二拉杆（9）密封相连接，四通连接管下接口（10）与真空晶体炉腔体（13）密封相连接，所述第一拉杆（6）前端固定密封塞（7），所述第二拉杆（9）前端固定镜子（4）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国成仪器(常州)有限公司 一种晶体生长炉的观察窗
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