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申请/专利权人：浙江浩锐石英科技有限公司
申请日：2024-03-19
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263162A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/677
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明公开了一种半导体硅片的石英扩散炉，属于半导体加工技术领域，包括炉体装置，炉体装置用于对硅片进行加热，炉体装置上设置有进料装置，进料装置用于将放置有半导体硅片的石英舟放入，进料装置上放置有石英舟，进料装置上设置有推入装置，推入装置用于将放置有半导体硅片的石英舟推入到炉体装置中。本发明设置的炉体装置设置有两个加热炉并在加热炉周围设置有水冷箱，便于对加热后的半导体硅片进行降温，同时通过气泵将需要的反应气体通入加热炉中；进料装置能够将石英舟连同半导体硅片一同放置到推入装置上，并通过推入装置将石英舟推入加热炉中，同时在推入过程中炉体门自动打开，待石英舟放入后，炉体门关闭，自动化程度高。
主权项：1.一种半导体硅片的石英扩散炉，包括炉体装置，其特征在于：所述的炉体装置包括脚架（101）和转柱（114），所述的炉体装置用于对硅片进行加热，所述的炉体装置上设置有进料装置，所述的进料装置包括架体（201），架体（201）上固定安装有连柱架（210）和固定滑块（222），连柱架（210）与转柱（114）转动安装，所述的进料装置用于将放置有半导体硅片的石英舟放入，所述的进料装置上放置有石英舟，所述的石英舟包括底块（301），所述的进料装置上设置有推入装置，所述的推入装置包括齿条架（401），齿条架（401）与固定滑块（222）滑动安装，所述的推入装置用于将放置有半导体硅片的石英舟推入到炉体装置中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江浩锐石英科技有限公司 一种半导体硅片的石英扩散炉
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