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石英坩埚及其制作方法 

申请/专利权人:甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司

申请日:2024-04-29

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN118256987A

主分类号:C30B15/10

分类号:C30B15/10;C30B29/06;C03B20/00;C03C3/06;C03C17/34

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.28#公开

摘要:本申请公开了一种石英坩埚及其制作方法,涉及单晶硅制造技术领域。石英坩埚包括坩埚本体,所述坩埚本体包括保温层、加强层和耐温层,所述保温层用于提高所述坩埚本体的保温性;所述加强层设置于所述保温层的内侧,所述加强层用于提高所述坩埚本体的强度;所述耐温层设置于所述加强层远离所述保温层的一侧,所述耐温层用于提高所述坩埚本体的耐温性。本申请提供的石英坩埚具有良好的耐温性和强度。

主权项:1.一种石英坩埚,其特征在于,包括坩埚本体,所述坩埚本体包括:保温层,用于提高所述坩埚本体的保温性;加强层,设置于所述保温层的内侧,所述加强层用于提高所述坩埚本体的强度;耐温层,设置于所述加强层远离所述保温层的一侧,所述耐温层用于提高所述坩埚本体的耐温性。

全文数据:

权利要求:

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