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申请/专利权人:普冉半导体(上海)股份有限公司
摘要:本申请公开了一种探针高度可调的探针卡、晶圆测试装置和方法,其中探针卡包括:探针;印刷电路板;探针控制器;所述探针卡用于对放置在探针台上的晶圆进行测试;所述探针控制器连接所述探针和所述印刷电路板,用于接收由上层终端下发的出针位置信息;所述探针控制器,还用于根据所述出针位置信息,调整所述探针的出针挡位,控制在出针位置的若干第一探针保持在测试挡高度;控制不在所述出针位置若干第二探针收回到空挡高度。本申请通过在测试探针和印刷电路板之间添加微型控制器,实现以测试地点为单位调节探针的高度,并且可以实现用户自定义设置扎针地点。
主权项:1.一种探针高度可调的探针卡,其特征在于,包括:探针;印刷电路板;探针控制器;所述探针卡用于对放置在探针台上的晶圆进行测试;所述探针控制器连接所述探针和所述印刷电路板,用于接收由上层终端下发的出针位置信息;所述探针控制器,还用于根据所述出针位置信息,调整所述探针的出针挡位,控制在出针位置的若干第一探针保持在测试挡高度;控制不在所述出针位置若干第二探针收回到空挡高度。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 普冉半导体(上海)股份有限公司 一种探针高度可调的探针卡、晶圆测试装置和方法
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