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申请/专利权人：佳能株式会社
申请日：2023-12-19
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118238513A
主分类号：B41J2/01
分类号：B41J2/01;B41J3/407;B41J2/045;B41J29/393
优先权：["20221222 JP 2022-205987"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明提供排出装置、基板处理装置以及物品制造方法。处理部通过将选择多个波形信息中的第1波形信息的第1选择信息提供给驱动电路，由驱动电路按照第1波形信息分别驱动组合所含的喷嘴，针对目标区域多次进行排出液体的动作而进行排出处理，在正进行排出处理的期间，在从组合所含的喷嘴检测到液体的排出不良的不良喷嘴的场合，将向驱动电路提供的选择信息从第1选择信息改写为选择补充不良喷嘴应排出的液体的排出量的第2波形信息的第2选择信息，以便按照第2波形信息驱动组合所含的喷嘴中的与不良喷嘴不同的其他喷嘴而针对目标区域进行排出液体的动作。
主权项：1.一种排出装置，其特征在于，所述排出装置具有排出头、处理部和驱动电路，所述排出头包括排出液体的多个喷嘴，经由所述多个喷嘴向基板配置所述液体，所述处理部使用包含从所述多个喷嘴选择的至少2个喷嘴的喷嘴的组合，进行向所述基板的目标区域配置所述液体的排出处理，所述驱动电路存储有规定从所述排出头的喷嘴排出的所述液体的排出量的互不相同的多个波形信息，按照从所述多个波形信息选择出的波形信息分别驱动所述多个喷嘴，所述处理部通过将选择所述多个波形信息中的第1波形信息的第1选择信息提供给所述驱动电路，由所述驱动电路按照所述第1波形信息分别驱动所述组合所含的喷嘴，针对所述目标区域多次进行排出所述液体的动作而进行所述排出处理，在正进行所述排出处理的期间，在从所述组合所含的喷嘴检测到所述液体的排出不良的不良喷嘴的场合，将向所述驱动电路提供的选择信息从所述第1选择信息改写为选择补充所述不良喷嘴应排出的所述液体的排出量的第2波形信息的第2选择信息，以便按照所述第2波形信息驱动所述组合所含的喷嘴中的与所述不良喷嘴不同的其他喷嘴而针对所述目标区域进行排出所述液体的动作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 排出装置、基板处理装置以及物品制造方法
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