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申请/专利权人：常州铭赛机器人科技股份有限公司
申请日：2023-11-15
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221201106U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/687
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了一种晶圆承载台，包括：底板、扩晶单元、扫码机构；所述扩晶单元设于底板上，所述扩晶单元用于将晶圆环上的蓝膜进行拉伸，以增加蓝膜上芯片间的间隙，便于后续的芯片拿取，所述扫码机构安装于底板上，所述扫码机构位于扩晶单元的入料口处，所述扫码机构用于扫描晶圆上的二维码，所述扫码机构包括：支撑部、调节部、扫描枪，所述支撑部安装于底板上，所述调节部的一端连接于支撑部上，所述调节部的另一端与扫描枪相连接，所述调节部用于调节扫描枪的高度和扫描枪的扫描角度，本实用新型具有扫描速度快，适用性强的优点。
主权项：1.一种晶圆承载台，其特征在于，包括：底板（31）；扩晶单元（32），所述扩晶单元（32）设于底板（31）上，所述扩晶单元（32）用于将晶圆环上的蓝膜进行拉伸，以增加蓝膜上芯片间的间隙，便于后续的芯片拿取；扫码机构（33），所述扫码机构（33）安装于底板（31）上，所述扫码机构（33）位于扩晶单元（32）的入料口处，所述扫码机构（33）用于扫描晶圆上的二维码，所述扫码机构（33）包括：支撑部、调节部、扫描枪（336），所述支撑部安装于底板（31）上，所述调节部的一端连接于支撑部上，所述调节部的另一端与扫描枪（336）相连接，所述调节部用于调节扫描枪（336）的高度和扫描枪（336）的扫描角度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 常州铭赛机器人科技股份有限公司 晶圆承载台
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