龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种化学机械抛光的方法，包括：围绕旋转轴旋转抛光垫；将基板定位成抵靠在抛光垫上，所述抛光垫具有与旋转轴同心的槽；使基板跨抛光垫横向振荡，使得在第一持续时间内基板的中央部分和基板的边缘部分定位在抛光垫的抛光表面之上；以及使基板基本上横向地保持为固定在一定位置，使得在第二持续时间内基板的中央部分定位在抛光垫的抛光表面之上，并且基板的边缘部分定位在槽之上。
主权项：1.一种化学机械抛光的方法，所述方法包括：围绕旋转轴旋转抛光垫；将基板定位成抵靠所述抛光垫，所述抛光垫具有与所述旋转轴同心的第一抛光控制槽，其中所述第一抛光控制槽提供非抛光区域，并且所述第一抛光控制槽靠近所述抛光垫的边缘或靠近所述抛光垫的中心；在第一持续时间内使所述基板跨所述抛光垫横向振荡，使得所述基板的中央部分和所述基板的边缘部分定位在所述抛光垫的抛光表面之上，以使所述基板的所述中央部分和所述基板的所述边缘部分在所述第一持续时间内被抛光；以及在第二持续时间内将所述基板基本上横向地保持为固定在一定位置，使得所述基板的所述中央部分定位在所述抛光垫的所述抛光表面之上，并且所述基板的所述边缘部分定位在所述第一抛光控制槽之上，以使所述基板的所述中央部分在所述第二持续时间内被抛光，其中所述第一持续时间与所述第二持续时间的比率选择为提供对所述边缘部分的期望抛光速率。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 使用时间份额控制的化学机械抛光
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号