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申请/专利权人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司
申请日：2024-04-17
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN118231530A
主分类号：H01L31/20
分类号：H01L31/20;H01L31/0747;H01L31/0236;C30B33/10
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.21#公开
摘要：本公开提供一种低酸耗异质结薄片化制绒方法，包括：使用HF和HCL的混合溶液对硅片进行预清洗；使用KOH溶液对硅片进行去机械损伤处理；使用KOH和H2O2的混合溶液对硅片进行再清洗；使用KOH和制绒添加剂的混合溶液对硅片进行初次制绒；使用KOH和制绒添加剂的混合溶液对硅片进行二次制绒；使用KOH和H2O2的混合溶液对硅片进行后清洗；使用HF和HCL的混合溶液对硅片进行疏水清洗；以及对硅片进行预干燥和干燥。本公开所述的低酸耗异质结薄片化制绒方法省略了HJT制绒工艺中的CP酸洗步骤，同时匹配两步制绒法，在达到与常规方法相同的清洗质量的同时，降低了含氟化学品的使用量和含氟废水排放量，使得硅片制绒的成本更低也更加环保。
主权项：1.一种低酸耗异质结薄片化制绒方法，包括：使用HF和HCL的混合溶液对硅片进行预清洗；使用KOH溶液对硅片进行去机械损伤处理；使用KOH和H2O2的混合溶液对硅片进行再清洗；使用KOH和制绒添加剂的混合溶液对硅片进行初次制绒；使用KOH和制绒添加剂的混合溶液对硅片进行二次制绒；使用KOH和H2O2的混合溶液对硅片进行后清洗；使用HF和HCL的混合溶液对硅片进行疏水清洗；以及对硅片进行预干燥和干燥处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏润阳世纪光伏科技有限公司 低酸耗异质结薄片化制绒方法
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