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申请/专利权人：重庆康佳光电技术研究院有限公司
摘要：本申请提供一种PAD电极层制备方法及离子束辅助蒸镀设备，离子束辅助蒸镀设备用于制备PAD电极层，方法包括：提供一主体芯片，主体芯片包括衬底层、外延层、透明导电层、P内接触电极层、N内接触电极层以及钝化保护层；钝化保护层覆盖P内接触电极层与N内接触电极层；通过刻蚀至少钝化保护层以露出P内接触电极层以及N内接触电极层；以离子束辅助蒸镀的方式至少在P内接触电极层以及N内接触电极层上沉积PAD电极层，由于高动能的荷能离子与沉积原子的级联碰撞效应，从而可以提升PAD电极层的致密性、稳定性，以增加焊接金线时产生的金球与PAD电极之间的共金面积，提升芯片寿命及产品可靠性。
主权项：1.一种微型发光二极管芯片的PAD电极层制备方法，其特征在于，所述方法包括：提供一主体芯片，所述主体芯片包括衬底层、外延层、透明导电层、P内接触电极层、N内接触电极层以及钝化保护层；所述钝化保护层覆盖所述P内接触电极层与所述N内接触电极层；通过刻蚀至少所述钝化保护层以露出所述P内接触电极层以及所述N内接触电极层；以离子束辅助蒸镀的方式至少在所述P内接触电极层以及所述N内接触电极层上沉积PAD电极层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆康佳光电技术研究院有限公司 PAD电极层制备方法及离子束辅助蒸镀设备
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