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基于先进封装工艺的CPO光模块组件及其制备方法 

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申请/专利权人:无锡芯光互连技术研究院有限公司

摘要:本发明提供基于先进封装工艺的CPO光模块组件及其制备方法,CPO光模块组件,包括重构光芯片、重构电芯片、PCB板及光纤阵列FA组件,重构光芯片包括光芯片晶圆体、导电单元、第一RDL+UBM单元及第二RDL+UBM单元,重构电芯片,包括电芯片及与第一电性连接引脚,第一电性连接引脚与第一RDL+UBM单元电性连接;PCB板,包括基板及在基板上设的第二电性连接引脚,第二电性连接引脚与第二RDL+UBM单元电性连接;光纤阵列FA组件,通过出光口与硅波导单元耦合。本方案,确保了较大的散热面积,避免了散热面积有限导致功耗的消耗及光模块传输距离减少问题,同时,在耦合过程中不涉及复杂的引线,减少了EIC、PIC插损,增大了两者间的传输带宽,改善了额外阻抗,提高了封装可靠性和效率。

主权项:1.一种基于先进封装工艺的CPO光模块组件,其特征在于,包括:重构光芯片,包括光芯片晶圆体、导电单元、第一RDL+UBM单元及第二RDL+UBM单元,其中:所述光芯片晶圆体中包括电性引出单元及硅波导单元;光芯片晶圆体中靠近硅波导单元的一个侧壁外设有出光口;导电单元,位于所述重构光芯片的背离所述光出口的一侧;第一RDL+UBM单元位于光芯片晶圆体正面,第二RDL+UBM单元位于光芯片晶圆体的背面,第一RDL+UBM单元与第二RDL+UBM单元均与导电单元连接,第一RDL+UBM单元还与所述电性引出单元连接,用于电性引出;所述CPO光模块组件,还包括:重构电芯片,包括电芯片及与第一电性连接引脚,所述第一电性连接引脚与所述第一RDL+UBM单元电性连接;PCB板,包括基板及在基板上设的第二电性连接引脚,所述第二电性连接引脚与所述第二RDL+UBM单元电性连接;光纤阵列FA组件,通过所述出光口与硅波导单元耦合。

全文数据:

权利要求:

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