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申请/专利权人：天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心)
摘要：本发明公开了一种Mo含量呈梯度变化的高耐磨性AlCrMoSiN梯度涂层及其制备方法，属于涂层技术领域。该梯度涂层是通过线性调节靶功率从而控制Mo含量呈梯度变化的，梯度涂层的靶功率调节范围为：下限为0.4kW、上限为0.7～1.2kW线性。该涂层是采用高功率脉冲磁控溅射和脉冲直流磁控溅射复合镀膜技术在基体上沉积而成，通过调控Mo含量线性增加，制备出兼具高硬度、高耐磨性的梯度涂层。
主权项：1.一种Mo含量呈梯度变化的高耐磨性AlCrMoSiN梯度涂层，其特征在于：该AlCrMoSiN梯度涂层沉积于金属或硅片基材上，该涂层由内及外的Mo元素含量逐渐增加。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) 一种Mo含量呈梯度变化的高耐磨性AlCrMoSiN梯度涂层及其制备方法
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