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申请/专利权人：安徽富乐德科技发展股份有限公司
摘要：本发明公开了DIFF硅部件多晶硅膜质清洗器，包括支撑台、净水清洗池和药剂清洗池，支撑台顶端的一侧安装有净水清洗池，支撑台顶端的另一侧设置有接取结构，支撑台的顶端安装有药剂清洗池，网篮的顶端设置有夹取机构。本发明通过将网篮放置在两组夹板之间，并启动步进电机带动齿盘正向转动，紧接着两组锥齿轮经过齿牙啮合带动两组丝杆进行转动，然后两组套块经过螺纹啮合沿着固定盒的内壁带动两组夹板相互靠近可将网篮夹紧固定，同时夹板套在插杆上可进行二次定位，防止网篮出现下滑脱落的情况，由此实现了此装置的灵活夹取功能，减少手动的操作，提高网篮固定的效率，增强了此装置的功能性。
主权项：1.DIFF硅部件多晶硅膜质清洗器，其特征在于：包括支撑台（1）、净水清洗池（2）和药剂清洗池（3），所述支撑台（1）顶端的一侧安装有净水清洗池（2），所述支撑台（1）顶端的另一侧设置有接取结构（5）；所述支撑台（1）的顶端安装有药剂清洗池（3），且药剂清洗池（3）的内部设置有网篮（4）；所述网篮（4）的顶端设置有夹取机构（9），且夹取机构（9）顶端的两侧均设置有滑杆（12）；所述支撑台（1）一侧的顶端连接有第一固定架（6），所述支撑台（1）另一侧的顶端连接有第二固定架（14）；所述第一固定架（6）的一侧安装有伺服电机（7），且伺服电机（7）的一侧连接有螺杆（8）；所述螺杆（8）的外侧螺纹连接有移动架（11），且移动架（11）的顶端均安装有液压推杆（10），所述移动架（11）一侧的内部插设有导向杆（13）；所述夹取机构（9）包括步进电机（901）、齿盘（902）、锥齿轮（903）、丝杆（904）、套块（905）、夹板（906）、插杆（907）和固定盒（908）；所述插杆（907）均连接在网篮（4）的两侧，所述插杆（907）的外侧套设有夹板（906）。
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权利要求：
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