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一种通过西门子法多晶硅余料制备流化床法籽晶的方法 

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摘要:本发明提供了一种通过西门子法多晶硅余料制备流化床法籽晶的方法,目的是解决现有技术西门子法制备多晶硅的过程中,存在原料浪费的技术问题。包括以下步骤:步骤1、集料,收集西门子法产出的余料;步骤2、精选,从余料中选出循环料,循环料尺寸大于废料尺寸;步骤3、打磨,使循环料形成球状颗粒;步骤4、清洗,使用纯水对球状颗粒进行清洗,确保其表面无杂质;步骤5、干燥,对球状颗粒进行干燥处理,得到籽晶载体;步骤6、使用,将得到的籽晶载体用于流化床法制备多晶硅。收集西门子法所产生的余料,通过精选,选出循环料,然后对循环料进行打磨、清洗和干燥处理,使循环料形成籽晶载体,然后将得到的籽晶载体用于流化床法生产。

主权项:1.一种通过西门子法多晶硅余料制备流化床法籽晶的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤1、集料,收集西门子法产出的余料;步骤2、精选,从余料中选出循环料,所述循环料尺寸大于废料尺寸;步骤3、打磨,使循环料形成球状颗粒;步骤4、清洗,使用纯水对球状颗粒进行清洗,确保其表面无杂质;步骤5、干燥,对球状颗粒进行干燥处理,得到籽晶载体;步骤6、使用,将得到的籽晶载体用于流化床法制备多晶硅。

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