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申请/专利权人：北京航空航天大学
摘要：本发明涉及一种具有横向梯度的PFM薄膜的制备方法，将成分两种及以上的纯金属靶材按面积比切割成厚度相同、半径相等的扇形片靶材，将所述扇形片靶材打磨抛光处理，用丙酮，酒精，去离子水依次超声清洗，用氮气吹干；将所述扇形片靶材拼接成圆形靶材；采用单靶位或者双靶位磁控溅射，薄膜沉积过程中保持长条形衬底静止不旋转，可实现W、Ta、Cr、V、Al、Ti、Zr等元素在横向上含量可以呈梯度变化的薄膜，最终得到的每个薄膜上不同位置点的成分都是具有较大范围变化的，而不是每层薄膜都只具有单一的成分。
主权项：1.一种具有横向梯度的PFM薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：将成分两种及以上的纯金属靶材按面积比切割成厚度相同、半径相等的扇形片靶材，将所述扇形片靶材打磨抛光处理，用丙酮，酒精，去离子水依次超声清洗，用氮气吹干；将所述扇形片靶材拼接成圆形靶材；采用单靶位或者双靶位磁控溅射，薄膜沉积过程中保持长条形衬底静止不旋转，得到各金属元素含量具有横向梯度变化的薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京航空航天大学 一种具有横向梯度的PFM薄膜的制备方法
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