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申请/专利权人:北京航空航天大学
摘要:本发明涉及一种具有横向梯度的PFM薄膜的制备方法,将成分两种及以上的纯金属靶材按面积比切割成厚度相同、半径相等的扇形片靶材,将所述扇形片靶材打磨抛光处理,用丙酮,酒精,去离子水依次超声清洗,用氮气吹干;将所述扇形片靶材拼接成圆形靶材;采用单靶位或者双靶位磁控溅射,薄膜沉积过程中保持长条形衬底静止不旋转,可实现W、Ta、Cr、V、Al、Ti、Zr等元素在横向上含量可以呈梯度变化的薄膜,最终得到的每个薄膜上不同位置点的成分都是具有较大范围变化的,而不是每层薄膜都只具有单一的成分。
主权项:1.一种具有横向梯度的PFM薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:将成分两种及以上的纯金属靶材按面积比切割成厚度相同、半径相等的扇形片靶材,将所述扇形片靶材打磨抛光处理,用丙酮,酒精,去离子水依次超声清洗,用氮气吹干;将所述扇形片靶材拼接成圆形靶材;采用单靶位或者双靶位磁控溅射,薄膜沉积过程中保持长条形衬底静止不旋转,得到各金属元素含量具有横向梯度变化的薄膜。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 北京航空航天大学 一种具有横向梯度的PFM薄膜的制备方法
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