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申请/专利权人：苏州晶洲装备科技有限公司
摘要：本发明属于蚀刻技术领域，公开了一种药气驱除单元、药气驱除方法及蚀刻装置，药气驱除单元用于驱除槽体内的药气；药气驱除单元包括冷却机构和若干个刮板机构，冷却机构能设置于槽体的顶壁内侧，冷却机构内设置有流动的冷却介质，以加速药气的凝结；若干个刮板机构滑动设置于冷却机构，刮板机构被配置为能够做往复运动，以将凝结的药气刮至槽体的两侧。通过使用该药气驱除单元、药气驱除方法及蚀刻装置，避免了药气凝结滴落造成对待刻件的污染，提高了对待刻件的蚀刻效果；同时提高了对药气的回收利用，减少药液的流失，提高能源利用率，降低了对环境的污染。
主权项：1.药气驱除单元，其特征在于，用于驱除槽体200内的药气；所述药气驱除单元包括：冷却机构10，能设置于所述槽体200的顶壁210内侧，所述冷却机构10内设置有流动的冷却介质，以加速所述药气的凝结；若干个刮板机构20，滑动设置于所述冷却机构10，所述刮板机构20被配置为能够做往复运动，以将凝结的所述药气刮至所述槽体200的两侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州晶洲装备科技有限公司 药气驱除单元、药气驱除方法及蚀刻装置
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