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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本发明提供了一种粉末冶金CrSi靶材及其制备方法，所述粉末冶金CrSi靶材的化学成分质量百分比包括：Cr为40～60wt％，Si为40～60wt％。所述制备方法包括如下步骤：1保护气氛下，按配方量混合Cr粉和Si粉，装模压实后进行预压，得到混合粉末；2对步骤1所得混合粉末进行真空热压烧结，得到靶材坯料；3对步骤2所得靶材坯料进行冷却以及后加工，得到所述粉末冶金CrSi靶材。本发明提供的粉末冶金CrSi靶材致密度达到97％～99％，微观组织均匀，靶材加工性能优异，溅射过程表现良好稳定，可满足使用要求。
主权项：1.一种粉末冶金CrSi靶材，其特征在于，所述粉末冶金CrSi靶材的化学成分质量百分比包括：Cr为40～60wt％，Si为40～60wt％。
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