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一种CrSi基合金靶材及其制备方法 

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申请/专利权人:北京安泰六九新材料科技有限公司;涿州安泰六九新材料科技有限公司

摘要:本发明提供一种CrSi基合金靶材及其制备方法,所述CrSi基合金靶材按照原子百分比由以下成分组成:Si1‑30%;Me0‑10%,余量为Cr;其中,Me选自B、Nb、W、Mo、Ta、V元素中的一种或多种。本发明通过选择CrSi2合金粉、Cr粉,或者选择CrSi2合金粉、Cr粉及Me粉作为预合金粉末来制备CrSi基合金靶材;制备得到的CrSi基合金靶材相对密度高,晶粒尺寸均匀,且可有效解决传统工艺存在的靶材脆性大,易开裂、难加工的问题。

主权项:1.一种CrSi基合金靶材,其特征在于,按照原子百分比由以下成分组成:Si1-30%;Me0-10%,余量为Cr;其中,Me选自B、Nb、W、Mo、Ta、V元素中的一种或多种。

全文数据:

权利要求:

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