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申请/专利权人：山东大学
摘要：本发明公开了一种基于渐变组分降低HfZrO基铁电电容器矫顽电场的方法。渐变组分的HfZrO铁电电容器包括：衬底；底电极；介质层；顶电极。所述的超薄HfZrO介质层是渐变组分的，介质层中HfO2和ZrO2的组分比例在9~1∶1~9之间，介质层厚度为10nm及以下。通过对器件进行电学测试，相比于恒定组分的铁电器件，渐变组分的HfZrO铁电电容器具有较低的矫顽电场，且有较高的剩余极化强度。一方面，较低的矫顽电场能使器件在较低的电压下能够完成极化翻转，从而降低器件的操作功耗。另一方面，若器件具有较低的矫顽电场，可以避免施加较大的电场对器件进行极化翻转，从而提高了器件的稳定性和耐久性。
主权项：1.一种基于渐变组分降低HfZrO基铁电电容器矫顽电场的方法，其特征在于，器件结构包括衬底、底电极、介质层和顶电极，所述的介质层为渐变组分的超薄HfZrO，介质层厚度可以控制在10nm及以下，厚度变化范围4~10nm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东大学 一种基于渐变组分降低HfZrO基铁电电容器矫顽电场的方法
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