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申请/专利权人：山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司
摘要：一种APCVD背封炉喷头的冷却装置及方法，冷却装置包括冷却主体和底板，二者之间通过若干支撑板固定连接；该冷却主体呈筒型，且横截面呈矩形；该冷却主体包括相对设置的两个第一侧板和两个第二侧板，且该第一侧板的长度大于该第二侧板的长度；各第一侧板顶面设有定位螺孔；该冷却主体内壁为中空，内部设有冷却盘管，该第二侧板外壁穿设有进水管和出水管，该冷却盘管的两端分别与该进水管和出水管的内端连接；该底板呈矩形，各支撑板两端分别与该第一侧板与该底板固定连接。本发明APCVD背封炉喷头的冷却装置及方法，能起到加快喷头冷却的作用，有利于提高喷头清洁效率。
主权项：1.一种APCVD背封炉喷头的冷却装置，其特征在于，包括冷却主体和底板，二者之间通过若干支撑板固定连接；该冷却主体呈筒型，且横截面呈矩形；该冷却主体包括相对设置的两个第一侧板和两个第二侧板，且该第一侧板的长度大于该第二侧板的长度；各第一侧板顶面设有定位螺孔；该冷却主体内壁为中空，内部设有冷却盘管，该第二侧板外壁穿设有进水管和出水管，该冷却盘管的两端分别与该进水管和出水管的内端连接；该底板呈矩形，各支撑板两端分别与该第一侧板与该底板固定连接。
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