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申请/专利权人:上海华力集成电路制造有限公司
摘要:本发明提供一种HTOL测试电路、设备及方法,由于将环形振荡器应用至HTOL测试的电路中形成简单的测试电路,该简单的测试电路在进行HTOL测试时,仅需搭配一个普通的测试炉和便宜的直流电压源就可完成测试,替代了传统的复杂的测试系统,进而降低了HTOL测试设备的成本。
主权项:1.一种HTOL测试电路,用于待测试半导体结构的HTOL测试,其特征在于,包括:环形震荡器,所述环形震荡器具有第一输入端、第二输入端和输出端;多个晶体管,所有所述晶体管的栅极与所述输出端电连接,所有所述晶体管的源极与位线电连接,每个所述晶体管的漏极用于与一待测试半导体结构的一端电连接,以及所有所述待测试半导体结构的另一端接地。
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百度查询: 上海华力集成电路制造有限公司 HTOL测试电路、设备及方法
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