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申请/专利权人：中国科学院声学研究所
摘要：本发明涉及结冰除冰监测领域，具体涉及一种具有自除冰功能的乐甫波结冰传感器及制备方法；本发明提供的传感器的压电基底1上方依次设置有第一微加热器501、输入换能器3、PDMS聚二甲基硅氧烷微流控芯片、输出换能器4和第二微加热器502；PDMS微流控芯片与芯片封装围挡共同形成PDMS储水腔6。本发明利用MEMS工艺实现微加热器与乐甫波传感器件的集成，通过温度采集电路和加热控制电路控制，在有冰出现的同时开启除冰功能，具有良好的实时性与可操作性，实现结冰监测与除冰一体化，并利用储水腔6对器件表面进行封装，防止水泄露引起电极短路。
主权项：1.一种具有自除冰功能的乐甫波结冰传感器，包括：压电基底1、波导层2、输入换能器3、输出换能器4、透水膜7和金属封装管壳8，其特征在于，所述压电基底1上方依次设置有第一微加热器501、输入换能器3、PDMS微流控芯片、输出换能器4和第二微加热器502；其中，所述PDMS微流控芯片与所述波导层2键合，并利用芯片封装围挡进行封装；所述PDMS微流控芯片与所述芯片封装围挡共同形成PDMS储水腔6；其中，所述芯片封装围挡为由竖直隔板组成的矩形框，所述芯片封装围挡的下边缘与所述波导层2键合，所述芯片封装围挡的上边缘与所述金属封装管壳7的封装管帽连接；所述金属封装管壳8封装管帽在PDMS储水腔6对应位置设有开口；所述透水膜7设置于所述金属封装管壳8开口处；所述第一微加热器501和第二微加热器502包括：由下至上依次排列的基底层51、下绝缘层522、导电层53和上绝缘层521；所述第一微加热器501和所述第二微加热器502通过所述基底层51与所述压电基底1键合，并通过所述导电层53与外部控制电路连接。
全文数据：
权利要求：
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