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申请/专利权人:中国科学院声学研究所
摘要:本发明涉及结冰传感器领域,具体涉及一种基于乐甫波的结冰传感器件及系统,包括:含硅化物保护层5、PDMS微流控芯片和芯片封装围挡;其中,含硅化物保护层5刻套在所述波导层2上方,还位于所述输入换能器3和输出换能器4之间;PDMS微流控芯片的四周边缘处与所述含硅化物保护层5键合;并利用所述芯片封装围挡对所述PDMS微流控芯片进行封装;所述PDMS微流控芯片与所述芯片封装围挡共同形成PDMS储水腔6。本发明设置有PDMS储水腔6,实现了对水的储存,防止了水泄露引起电极短路;采用光刻技术,在传输路径上套刻含硅化合物薄层5,便于与PDMS储水腔6键合,以防止水泄露到周围叉指电极上。
主权项:1.一种基于乐甫波的结冰传感器件,包括:压电基片1、波导层2、输入换能器3和输出换能器4、金属封装管壳7和透水膜8,其特征在于,所述一种基于乐甫波的结冰传感器件还包括:含硅化物保护层5、PDMS微流控芯片和芯片封装围挡;其中,所述含硅化物保护层5刻套在所述波导层2上方,还位于所述输入换能器3和输出换能器4之间;所述含硅化物保护层5为矩形,并且中间还设有开口;所述PDMS微流控芯片的四周边缘处与所述含硅化物保护层5键合;并利用所述芯片封装围挡对所述PDMS微流控芯片进行封装;所述PDMS微流控芯片与所述芯片封装围挡共同形成PDMS储水腔6;其中,所述芯片封装围挡为由竖直隔板组成的矩形框,所述芯片封装围挡的下边缘与所述波导层2键合,所述芯片封装围挡的上边缘与所述金属封装管壳7的封装管帽连接;所述金属封装管壳7封装管帽在PDMS储水腔6对应位置设有开口;所述透水膜8设置于所述金属封装管壳7开口处。
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权利要求:
百度查询: 中国科学院声学研究所 一种基于乐甫波的结冰传感器件及系统
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