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申请/专利权人：朱长青
摘要：本发明提供一种以氟化镧为主体、掺杂适量的其他元素氟化物形成介电复合材料，并提出一种在真空室内采用蒸馏罐体—气体管道—喷嘴的组合装置，将高温蒸馏介电材料喷射在电极上沉积为介电薄膜的实施方案。
主权项：1.一种以氟化镧为主体、掺杂适量的其他元素氟化物，共同形成复合介电材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朱长青 一种复合介电材料极其制备方法
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