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申请/专利权人：本源科仪(成都)科技有限公司
摘要：本申请提供一种Canali模型修正方法、装置、TCAD仿真方法及系统、介质及设备，能够解决相关技术中传统TCAD仿真系统在极低温条件下进行器件仿真的结果会与实际情况不符的问题，可以提高仿真的准确性。该方法包括：获取器件在预设极低温范围内的电子饱和速度和空穴饱和速度；在TCAD仿真系统中修改算式参数；获取预设极低温范围内的仿真电子饱和速度和仿真空穴饱和速度；判断仿真电子饱和速度和仿真空穴饱和速度与电子饱和速度和空穴饱和速度之间对应的最大差值是否小于阈值；如果是，获取预设极低温范围内修正后的Canali模型；如果否，返回在TCAD仿真系统中修改算式参数的步骤。
主权项：1.一种Canali模型修正方法，其特征在于，所述方法包括：获取器件在预设极低温范围内的电子饱和速度和空穴饱和速度；在TCAD仿真系统中修改中描述电子饱和速度的算式参数和描述空穴饱和速度的算式参数；其中，所述算式参数包括常温下载流子的饱和速度和温度系数；基于修改后的所述算式参数和所述Canali模型，获取所述预设极低温范围内的仿真电子饱和速度和仿真空穴饱和速度；判断所述仿真电子饱和速度和所述仿真空穴饱和速度与所述电子饱和速度和所述空穴饱和速度之间对应的最大差值是否小于阈值；如果是，基于修改后的所述算式参数，获取所述预设极低温范围内修正后的Canali模型；如果否，返回在TCAD仿真系统中修改Canali模型中描述电子饱和速度的算式参数和描述空穴饱和速度的算式参数的步骤。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 本源科仪(成都)科技有限公司 Canali模型修正方法、装置、TCAD仿真方法及系统、介质及设备
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