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申请/专利权人：鑫天虹(厦门)科技有限公司
摘要：本发明提供一种可吹动粉末的原子层沉积装置，主要包括一真空腔体、一轴封装置及一驱动单元，其中驱动单元通过轴封装置带动真空腔体转动。轴封装置包括一外管体及一内管体，其中内管体设置在外管体的容置空间内。至少一抽气管线及至少一进气管线位于内管体内，其中进气管线由内管体延伸置反应空间内，并用以将一非反应气体输送至反应空间，以吹动反应空间内的粉末。
主权项：1.一种可吹动粉末的原子层沉积装置，其特征在于，包括：一真空腔体，包括一反应空间用以容置复数个粉末；一轴封装置，包括一外管体及一内管体，其中该外管体具有一容置空间，用以容置该内管体；一驱动单元，通过该轴封装置的该外管体连接该真空腔体，并经由该轴封装置带动该真空腔体转动，其中该驱动单元带动该外管体及该真空腔体转动时，该内管体不会随着转动；至少一抽气管线，位于该内管体内，流体连接该真空腔体的该反应空间，并用以抽出该反应空间内的一气体；及至少一进气管线，位于该内管体内，由该内管体延伸至该反应空间内，并朝该反应空间的一表面的方向延伸，用以将一非反应气体输送至该反应空间，其中该非反应气体用以吹动该反应空间内的该粉末。
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权利要求：
百度查询： 鑫天虹(厦门)科技有限公司 可吹动粉末的原子层沉积装置
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