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恭喜应用材料以色列公司奥哈德·肖布获国家专利权

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龙图腾网恭喜应用材料以色列公司申请的专利生成可用于半导体样本的检查的训练集的方法和其系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN110189288B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910129519.2,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权生成可用于半导体样本的检查的训练集的方法和其系统是由奥哈德·肖布;阿萨夫·阿斯巴克;波阿斯·科恩设计研发完成,并于2019-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

生成可用于半导体样本的检查的训练集的方法和其系统在说明书摘要公布了:提供了一种生成可用于检查半导体样本的训练集的系统和方法。该方法包括:根据物理工艺的参数值,获得能够模拟物理工艺对制造工艺fabricationprocess,FP图像的影响的模拟模型;将所述模拟模型应用至用于所述训练集的待增强图像,从而生成与所述物理工艺的参数的一个或多个不同值对应的一个或多个增强图像;并且将生成的一个或多个增强图像包括在训练集中。训练集可用于使用训练的深度神经网络的样本检查、自动缺陷审查、自动缺陷分类、检查期间的自动导航、FP图像的自动分割、基于FP图像的自动计量以及包括有机器学习的其它检查工艺。

本发明授权生成可用于半导体样本的检查的训练集的方法和其系统在权利要求书中公布了:1.一种生成可用于检查半导体样本的训练集的方法,所述方法由计算机执行,并且包括:获得能够模拟物理工艺对真实世界制造工艺fabricationprocess,FP图像的影响的模拟模型,其中所述模拟取决于所述物理工艺的参数值;将所述模拟模型应用至用于所述训练集的待增强的真实世界FP图像,从而生成与所述物理工艺的参数的一个或多个不同值对应的一个或多个增强图像;和将生成的所述一个或多个增强图像包括到所述训练集中,其中包括所述一个或多个增强图像的所述训练集被用于训练深度神经网络DNN,以处理一个或多个真实世界FP图像,从而获得表征所述一个或多个真实世界FP图像的至少一个的特定应用的检查相关数据。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司,其通讯地址为:以色列雷霍沃特;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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