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龙图腾网恭喜浙江同芯祺科技有限公司申请的专利一种晶圆片和玻璃载盘的贴附方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114695084B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210419534.2，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种晶圆片和玻璃载盘的贴附方法是由严立巍;文锺;符德荣;陈政勋设计研发完成，并于2022-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆片和玻璃载盘的贴附方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆片和玻璃载盘的贴附方法，涉及晶圆加工技术领域。所述晶圆片和玻璃载盘的贴附方法，包括以下步骤：S1、晶圆减薄，将完成正面前半段制程的晶圆正面贴合到带有UV胶的研磨胶带上，使得晶圆背面朝上，再采用自动化设备对晶圆背面进行减薄；S2、贴合第一载盘，向第一载盘上喷涂去离子水。本发明提供的晶圆片和玻璃载盘的贴附方法通过在打磨减薄晶圆的过程中，使用带有UV胶的研磨胶带承载晶圆，为晶圆提供保护，再通过涂布SOG和水膜配合将晶圆贴合到第二载盘上，便于晶圆的定位，避免晶圆和第二载盘之间的位置发生偏差，再通过恒温干燥蒸发掉水膜，使得晶圆和第二载盘之间无需使用胶体粘合，使得晶圆和第二载盘可以充分贴合。

本发明授权一种晶圆片和玻璃载盘的贴附方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆片和玻璃载盘的贴附方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、晶圆减薄，将完成正面前半段制程的晶圆正面贴合到带有UV胶的研磨胶带上，使得晶圆背面朝上，再采用自动化设备对晶圆背面进行减薄；S2、贴合第一载盘，向第一载盘上喷涂去离子水，在第一载盘上方形成一层厚度均匀的水膜，再将步骤S1中得到的晶圆通过翻转设备进行翻转，再将晶圆背面通过水膜贴合到第一载盘上；S3、移除研磨胶带，使用带有特定波长的UV光对晶圆进行照射，使得研磨胶带上的UV胶粘性减弱，最后采用半自动设备向上移除研磨胶带；S4、贴合第二载盘，将所述步骤S3中得到的晶圆正面喷涂去离子水，以形成一层厚度均匀的水膜，然后将第二载盘通过晶圆正面的水膜贴合到晶圆的正面，最后通过晶圆翻转设备翻转晶圆；S5、移除第一载盘，将所述步骤S4中得到的晶圆边缘选择至少两个点进行SOG涂布限位，然后采用恒温干燥设备对晶圆进行烘烤，使得晶圆和第一载盘之间的水膜挥发，晶圆和第二载盘之间的水膜挥发，然后采用半自动设备向上取下第一载盘，最后在晶圆的边缘利用旋转涂布介质SOG进行封堵，完成对晶圆边缘的SOG涂布形成边缘全面封堵；S6、将所述步骤S5所得到的晶圆输送到下一环节进行加工；在所述步骤S3、S4中，采用抽气设备从第一载盘另外一面进行抽气，通过第一载盘上的气孔实现第一载盘和晶圆的吸附，以避免晶圆翻转和研磨胶带移除的过程中，晶圆在第一载盘上的位置发生偏移。

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