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恭喜江苏汇成光电有限公司孟强获国家专利权

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龙图腾网恭喜江苏汇成光电有限公司申请的专利一种外定位框环贴底膜装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN109591282B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-07发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201910022224.5,技术领域涉及:B29C63/02;该发明授权一种外定位框环贴底膜装置是由孟强;陈志远;聂伟;王坤;魏通;徐学飞;孔凡苑设计研发完成,并于2019-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种外定位框环贴底膜装置在说明书摘要公布了:本发明公开了半导体加工领域内的一种外定位框环贴底膜装置,包括机壳体,与定位平台相对应的前后两侧均设有转动辊组,两转动辊组之间纵向设有具有粘性的传动底膜,定位平台上方对应设有可移动的吸环,外定位框环的内径小于定位平台的外径,外定位框环的外径大于定位平台的外径,外定位框环下侧开设有环形切割槽;所述定位平台下方同轴设置有旋转盘,旋转盘外周均匀间隔分布设有若干旋转臂,旋转臂端部设有旋转座,旋转座上可转动地连接有压轮,压轮上侧与定位平台相平齐,旋转座上还固定连接有弧形切割刀,切割刀的上侧刀刃可对应伸入切割槽内。本发明能够将底膜自动切割成圆形,并将外定位框环固定在底膜上表面的边缘。

本发明授权一种外定位框环贴底膜装置在权利要求书中公布了:1.一种外定位框环贴底膜装置,其特征在于,包括机壳体,所述机壳体内设有圆形定位平台,与定位平台相对应的前后两侧均设有转动辊组,两转动辊组之间纵向设有具有粘性的传动底膜,传动底膜的宽度大于定位平台的直径,定位平台上方对应设有可移动的吸环,外定位框环吸附在吸环下方,外定位框环与定位平台的轴线相重合时,外定位框环的内径小于定位平台的外径,外定位框环的外径大于定位平台的外径,外定位框环下侧开设有环形切割槽;所述定位平台下方同轴设置有旋转盘,旋转盘外周均匀间隔分布设有若干旋转臂,旋转臂端部设有旋转座,旋转座位于定位平台外侧,旋转座上可转动地连接有压轮,压轮轴线沿定位平台径向设置,压轮上侧与定位平台相平齐,旋转座上还固定连接有弧形切割刀,切割刀的上侧刀刃可对应伸入切割槽内,压轮的两端面在轴线方向分别位于切割刀的左右两侧;所述转动辊组包括若干沿纵向间隔分布的转动辊,转动辊轴线横向设置,转动辊的左右两端分别可转动地支撑在对应辊支架上,各转动辊上侧相平齐,传动底膜下表面与转动辊上侧相接触;所述传动底膜包括源头转动部和平动部,传动底膜源头转动部由外向内卷绕成若干圈,传动底膜源头转动部的内圈套装在放料轴上,放料轴的左右两端可转动地支撑在对应辊支架上,传动底膜源头转动部的外圈边侧与平动部相接;所述吸环上侧沿周向均匀间隔分布设有若干三通接头,三通接头的左右两侧均设有旁通路,三通接头的下侧设有下通路,相邻三通接头的旁通路之间通过连接管相连,位于边侧的三通接头的旁通路与抽真空装置相连,吸环上对应各三通接头的下通路开设有若干通气孔,通气孔与对应三通接头的下通路相连通,所述吸环的边侧竖直设有移动杆,移动杆上端与驱动机构传动相连;所述驱动机构包括两根平行设置的固定横向梁,固定横向梁位于吸环的上方,固定横向梁上设有横向导轨和横向齿条,两固定横向梁之间设有横移架,横移架的两端分别设有横移座,横移座通过滑块与对应横向导轨滑动连接,横移座上竖直设有横移电机,横移电机的输出端设有与对应横向齿条相啮合的齿轮;所述横移架上通过纵向导轨滑动连接有纵移座,纵移座上设有纵移电机,横移架上轴向设有纵移齿条,纵移电机的输出端设有与纵移齿条相啮合的齿轮,所述纵移座上活动连接有升降架,移动杆上端与升降架相连;所述纵移座中部开设有竖直贯穿纵移座的凹槽,凹槽侧壁设有若干升降导轨,升降架竖直插入凹槽内并通过滑块与各升降导轨滑动连接,升降架上竖直设有可转动的丝杠,丝杠的一端与升降电机传动连接,纵移座的凹槽上侧固定设有螺母座,螺母座上固定设有丝杠螺母,丝杠螺母与丝杠相匹配设置;所述旋转盘的转轴经减速器与旋转电机传动连接;前后两侧的转动辊组带动传动底膜移动,吸环将外定位框环吸住,吸环下降将外定位框环压在定位平台上,外定位框环内圈支撑在定位平台上,外定位框环外圈支撑在压轮上侧,切割刀与切割槽相对应设置,旋转盘转动通过旋转臂带动旋转座转动,弧形切割刀伸入切割槽内并将传动底膜切割成圆形,压轮将具有粘性的传达底膜边缘压紧在外定位框环下侧,外定位框环与底膜实现合框固定,然后吸环将贴上底膜后的晶圆移出机壳体。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人江苏汇成光电有限公司,其通讯地址为:225128 江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区金荣路19号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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