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龙图腾网恭喜弗萨姆材料美国有限责任公司申请的专利用于沉积膜的方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114867888B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080090123.2，技术领域涉及：C23C16/455；该发明授权用于沉积膜的方法是由H·钱德拉;雷新建;D·P·思朋斯;萧满超;R·M·皮尔斯坦;M·R·麦克唐纳;M·B·拉奥设计研发完成，并于2020-12-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于沉积膜的方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种用于将膜沉积到衬底的表面特征中的原子层沉积方法。所述方法可以包括将具有表面特征的衬底放置到反应器中的步骤。有机钝化剂可引入所述反应器中，其可与表面特征内的一部分暴露的羟基反应。随后，可以吹扫未反应的有机钝化剂，并且然后可以引入前体。前体可与未与有机钝化剂相互作用的剩余的暴露羟基反应。随后，可以吹扫未反应的前体，并且可以将氧源或氮源引入所述反应器中以在表面特征内形成膜。

本发明授权用于沉积膜的方法在权利要求书中公布了：1.一种用于将膜沉积到衬底的表面特征中的原子层沉积方法，所述方法包括：a将具有表面特征的所述衬底放置到反应器中，所述表面特征具有暴露的羟基；b将所述反应器加热到环境温度至700℃的一个或多个温度，并任选地将所述反应器保持在100托或更低的压力下；c将至少一种有机钝化剂引入所述反应器中以与所述表面特征的一部分所述暴露的羟基反应；d使用惰性气体从所述反应器吹扫未反应的有机钝化剂；e引入具有至少一个有机氨基的前体气体以与所述表面特征的任何未反应的羟基反应；f使用惰性气体从所述反应器吹扫未反应的前体；g将氧源或氮源引入到所述反应器中；以及h使用惰性气体吹扫未反应的氧源或氮源和任何副产物，其中重复步骤c至h直到从下至上填充所述表面特征；以及其中所述有机钝化剂包括至少一种选自原碳酸四甲酯、原碳酸四乙酯、原碳酸四正丙酯、原乙酸三甲酯、原乙酸三乙酯、1,1,1-三乙氧基戊烷、1,1,1-三乙氧基庚烷、原苯甲酸三乙酯、2,2-二乙氧基丙烷、1,1-二乙氧基-1-苯基乙烷、4,4-二乙氧基庚烷、4,4-二乙氧基壬烷、原甲酸三甲酯和原甲酸三正丙酯的化合物；以及其中在步骤c中通过控制室压力或脉冲时间或有机钝化剂的蒸气通量来引入所述至少一种有机钝化剂以与所述表面特征的顶部表面区域上的那些羟基反应，从而允许具有至少一个有机氨基的前体气体在步骤e中与所述表面特征的底部上的那些未反应的羟基反应以锚定含硅或金属的片段。

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