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龙图腾网恭喜瑞声声学科技(深圳)有限公司申请的专利微机电系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114302304B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-23发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111629634.X，技术领域涉及：H04R19/04；该发明授权微机电系统是由阿努普·帕特尔;尤安·詹姆斯·博伊德;斯科特·莱尔·嘉吉设计研发完成，并于2021-12-28向国家知识产权局提交的专利申请。

本微机电系统在说明书摘要公布了：本发明提供一种微机电系统，其包括：外壳，限定有空腔和与所述空腔连通的开口；振膜，安装在所述开口处；至少一个悬臂，位于所述空腔内，所述悬臂包括第一端、第二端和位于所述第一端和所述第二端之间的支点；柱塞，位于所述振膜和所述悬臂之间且用以将所述振膜的位移传递到所述悬臂的所述第一端；以及传感元件，连接到所述悬臂的所述第二端；其中，所述第一端与所述支点之间的距离小于所述第二端和支点之间的距离。本发明的微机电系统具有信噪比高、封装体积小、灵敏度高等优点。本发明的振膜的刚度比相关技术的振膜的数量级高，避免了在1标准大气压atm下的机械崩溃和大的直流变形。

本发明授权微机电系统在权利要求书中公布了：1.一种微机电系统，其特征在于，包括:外壳，限定有空腔和与所述空腔连通的开口；振膜，安装在所述开口处；至少一个悬臂，位于所述空腔内，所述悬臂包括第一端、第二端和位于所述第一端和所述第二端之间的支点；柱塞，所述柱塞位于所述振膜和所述悬臂之间用以将所述振膜的位移传递到所述悬臂的所述第一端；以及传感元件，包括相对于所述外壳固定的固定部件和连接到所述悬臂的所述第二端并相对于所述固定部件可移动的移动部件，所述移动部件包括多个导电的活动指，每两个相邻的所述活动指之间形成第一间隙；所述固定部件包括多个导电的固定指，每两个相邻的所述固定指之间形成第二间隙；多个所述活动指分别与多个所述固定部件的第二间隙对齐，多个所述固定指分别与所述移动部件的多个所述第一间隙对齐；其中，所述第一端与所述支点之间的距离小于所述第二端和支点之间的距离。

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