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龙图腾网恭喜季华实验室申请的专利基于布里渊光谱的晶圆检测方法及相关设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119643584B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510178324.2，技术领域涉及：G01N21/95；该发明授权基于布里渊光谱的晶圆检测方法及相关设备是由苏昀昊;黄伟华;毕海;石壮威;訾剑臣设计研发完成，并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于布里渊光谱的晶圆检测方法及相关设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于布里渊光谱的晶圆检测方法及相关设备，涉及晶圆检测技术领域，其中基于布里渊光谱的晶圆检测方法包括以下步骤：根据布里渊光谱信息获取实测半高宽和实测频移；根据实测半高宽、实测频移、标准半高宽和标准频移计算晶格排列规则度，晶格排列规则度用于表征晶圆对应检测位置点处是否存在晶体缺陷。本申请的基于布里渊光谱的晶圆检测方法能解决现有的晶圆检测技术无法实现对晶圆的晶体缺陷进行无损快速准确检测的问题，能无损、快速且准确地检测晶圆的晶体缺陷。

本发明授权基于布里渊光谱的晶圆检测方法及相关设备在权利要求书中公布了：1.一种基于布里渊光谱的晶圆检测方法，应用于光谱探测系统，其特征在于，所述光谱探测系统包括依照光路依次设置的激光源（1）、分光件（2）、聚焦件（3）和运动机构（4），所述运动机构（4）用于承载并驱动晶圆位移以切换检测位置点；所述光谱探测系统还包括：光谱探测装置（5），设置在所述分光件（2）一侧，用于接收晶圆的检测位置点处基于激光激发出的布里渊散射光以探测布里渊光谱信息；所述检测方法在运动机构（4）驱动晶圆位移的过程中执行，所述检测方法包括以下步骤：S1.根据所述布里渊光谱信息获取实测半高宽和实测频移；S2.根据所述实测半高宽、所述实测频移、标准半高宽和标准频移计算晶格排列规则度，所述晶格排列规则度用于表征晶圆对应检测位置点处是否存在晶体缺陷，所述根据所述实测半高宽、所述实测频移、标准半高宽和标准频移计算晶格排列规则度的过程基于下式进行： ；其中，D为晶格排列规则度，Γ为实测半高宽，Γ0为标准半高宽，Δf为实测频移，Δf0为标准频移，a和b分别为第一权重和第二权重。

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