恭喜苏州新维度微纳科技有限公司李大元获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州新维度微纳科技有限公司申请的专利微纳结构、其制备方法及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119739000B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510252613.2,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权微纳结构、其制备方法及其应用是由李大元;刘泽;褚浩宇设计研发完成,并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本微纳结构、其制备方法及其应用在说明书摘要公布了:本发明公开了一种微纳结构、其制备方法及其应用,制备方法包括:准备硬模板和软模板,所述硬模板沿厚度方向设有微米级通孔,软模板上设有纳米级微结构;取衬底,在衬底表面涂覆压印胶;将硬模板贴合在衬底表面,压印胶填充于硬模板的通孔中,且压印胶溢出通孔于通孔孔口处形成凸出部;将软模板设有纳米级微结构的一面贴合在硬模板背离衬底的一面,对软模板施压,硬模板上溢出通孔的压印胶凸出部填充于软模板的纳米级微结构中;固化压印胶;移除软模板和硬模板,获得微纳结构。本发明选择具有镂空微米结构的硬模板和具有纳米微结构的软模板,通过一次压印曝光和两次脱模过程,能够简单快捷的获得所需要的微米和纳米复合的二元微结构。
本发明授权微纳结构、其制备方法及其应用在权利要求书中公布了:1.一种微纳结构的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:准备硬模板和软模板,所述硬模板沿厚度方向设有微米级通孔,所述软模板上设有纳米级微结构;取衬底,在衬底表面涂覆压印胶;将硬模板贴合在衬底表面,硬模板挤压压印胶使压印胶填充于硬模板的通孔中,且压印胶溢出通孔于通孔孔口处形成凸出部;将软模板设有纳米级微结构的一面贴合在硬模板背离衬底的一面,对软模板施压,硬模板上溢出通孔的压印胶凸出部填充于软模板的纳米级微结构中;固化压印胶;移除软模板和硬模板,获得微纳结构;移除软模板和硬模板的具体操作为:先固定衬底,移除软模板,再固定硬模板,连同衬底及衬底上的微纳结构一并移除。
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