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龙图腾网恭喜上海精测半导体技术有限公司申请的专利一种光学特性建模方法和装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114065592B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111425136.3，技术领域涉及：G06F30/23；该发明授权一种光学特性建模方法和装置是由张晓雷;张厚道;施耀明设计研发完成，并于2021-11-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光学特性建模方法和装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光学特性建模方法和装置，该方法包括：将周期介质内的微结构在z方向上划分为N层薄片；针对同一层微结构的薄片，执行如下处理：获取所述薄片在周期空间xy平面上投影的各个封闭区域的几何信息；根据所述几何信息，对所述周期空间进行划分，得到x方向划分的目标积分子区间和y方向划分的目标积分子区间；计算周期介质的介电系数的傅里叶系数和周期介质的介电系数的托普利兹矩阵，以及进行严格耦合波分析，以实现周期介质的光学特性建模，该方法通过对积分区间的划分方法进行优化，从而高效地得到精确的周期介质的介电系数的傅里叶系数和介电系数的托普利兹矩阵。

本发明授权一种光学特性建模方法和装置在权利要求书中公布了：1.一种光学特性建模方法，其特征在于，该方法包括：将周期介质内的微结构在z方向上划分为N层薄片，N为正整数；针对同一层微结构的薄片，执行如下处理：获取所述薄片在周期空间xy平面上投影的各个封闭区域的几何信息；根据所述几何信息，对所述周期空间进行划分，得到x方向划分的目标积分子区间和y方向划分的目标积分子区间；计算周期介质的介电系数的傅里叶系数和周期介质的介电系数的托普利兹矩阵；利用所述周期介质的介电系数的傅里叶系数和所述周期介质的介电系数的托普利兹矩阵进行严格耦合波分析，以实现所述周期介质的光学特性建模；所述获取所述薄片在周期空间xy平面上投影的各个封闭区域的几何信息，包括：获取所述薄片在周期空间xy平面上投影的各个封闭区域，并将所述各个封闭区域的边界表示为各个多边形；获取每个多边形顶点的x坐标和y坐标，构成各个封闭区域的几何信息，所述几何信息包括x坐标的集合和y坐标的集合；根据所述几何信息，对所述周期空间进行划分，得到x方向划分的目标积分子区间和y方向划分的目标积分子区间，包括：将所述x坐标的集合和所述y坐标的集合中的坐标分别按照由大到小或者由小到大的顺序排列，顺序排列后的所述x坐标的集合和所述y坐标的集合中，各自任意相邻两个坐标构成候选积分子区间；确定所述候选积分子区间是否为非均匀区间；获取所述候选积分子区间长度；当所述候选积分子区间为非均匀区间，且所述候选积分子区间长度大于或等于预设步长时，将所述候选积分子区间划分为多个目标积分子区间；否则，将所述候选积分子区间作为一个目标积分子区间。

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