恭喜苏州光舵微纳科技股份有限公司刘晓成获国家专利权
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龙图腾网恭喜苏州光舵微纳科技股份有限公司申请的专利一种真空吸盘、纳米压印设备及其控制方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114442424B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210252878.9,技术领域涉及:G03F7/00;该发明授权一种真空吸盘、纳米压印设备及其控制方法是由刘晓成;宋崇顺;何钊;史晓华设计研发完成,并于2022-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空吸盘、纳米压印设备及其控制方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种真空吸盘、纳米压印设备及其控制方法,用于纳米压印设备,所述纳米压印设备包括滚压机构,所述真空吸盘包括:吸盘本体;吸附孔,所述吸附孔阵列设置在所述吸盘本体上,沿与滚压机构辊压前进方向垂直的方向的一列或多列吸附孔连通形成一个吸附单元,所述吸附孔阵列形成多个吸附单元。本发明的有益之处在于,通过设置阵列排布的吸附孔,在压印过程中逐步吸真空,使软膜在压印过程中不出现褶皱和气泡,同时使软膜与基板配合更加紧密,压印效果更好,在加工完成后,逐步破真空,方便软膜的拿取。
本发明授权一种真空吸盘、纳米压印设备及其控制方法在权利要求书中公布了:1.一种真空吸盘,用于纳米压印设备,所述纳米压印设备包括滚压机构,其特征在于,所述真空吸盘包括:吸盘本体1;吸附孔2,所述吸附孔2阵列设置在所述吸盘本体1上,沿与滚压机构辊压前进方向垂直的方向的一列或多列吸附孔2连通形成一个吸附单元,所述吸附孔2阵列形成多个吸附单元;其中,所述吸附单元连接有负压控制装置,所述负压控制装置可独立控制所述吸附单元;并且其中,所述吸盘本体1上表面还设置有定位槽12,所述定位槽12内设置有多个环形真空槽13,所述真空槽13内设置有气孔;所述定位槽12内设置有贯穿所述真空槽13的贯穿槽14。
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