恭喜北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)牛岩获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114624965B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210327161.6，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统是由牛岩;付纯鹤;苏鹏方;杜婷婷;徐圆圆设计研发完成，并于2022-03-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统在说明书摘要公布了：本申请提供了一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统，所述控制方法包括：获取参与扫描的各个子系统执行器的扫描时间区间；根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；根据扫描时间值以及准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。采用本申请提供的技术方案能够通过获取扫描时间区间与准备时间区间，确定出扫描时间值，以及准备时间值，并通过扫描时间值时间与准备时间值控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描，从而在保障曝光图像质量的同时提高晶圆曝光的工作效率。
本发明授权一种执行器同步扫描的控制方法、上位机以及控制系统在权利要求书中公布了：1.一种执行器同步扫描的控制方法，其特征在于，应用于上位机，所述控制方法包括：获取参与扫描的各个子系统执行器的扫描时间区间；其中，扫描时间区间是根据上位机发送的动作数据确定的，所述动作数据包括子系统执行器扫描的起始位置和终止位置；根据获取到的多个扫描时间区间之间的时间交叉关系，确定扫描时间值，并根据扫描时间值，确定出准备时间值；根据所述扫描时间值以及所述准备时间值，同时向各个子系统执行器下发扫描控制指令，控制多个子系统执行器对待曝光晶圆进行同步扫描。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)，其通讯地址为：100176 北京市北京经济技术开发区泰河三街1号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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