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恭喜ams有限公司P.库萨获国家专利权

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龙图腾网恭喜ams有限公司申请的专利使用灰度光刻形成三维结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN113168113B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980078329.0,技术领域涉及:G03F7/20;该发明授权使用灰度光刻形成三维结构是由P.库萨;G.埃尔姆斯泰纳设计研发完成,并于2019-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。

使用灰度光刻形成三维结构在说明书摘要公布了:形成三维结构包括在层上施加光致抗蚀剂以及使用光刻系统曝光光致抗蚀剂。光刻系统包括其上具有图案的光掩模,其中图案在光掩模的表面上提供变化的图案密度,并且具有小于光刻系统的分辨率的间距。该方法包括随后显影光致抗蚀剂,使得保留在该层上的光致抗蚀剂具有由光掩模限定的三维轮廓。各向同性蚀刻剂被用于蚀刻该层,使得该光致抗蚀剂的三维轮廓转移到该层。

本发明授权使用灰度光刻形成三维结构在权利要求书中公布了:1.一种形成三维结构的方法,所述方法包括:在光感测设备上方的层上施加光致抗蚀剂,其中所述光感测设备包括具有光敏区域的光电二极管和设置在光敏区域上方的后端楔形氧化物层;使用光刻系统曝光所述光致抗蚀剂,其中所述光刻系统包括其上具有图案的光掩模,所述图案在所述光掩模的表面上提供变化的图案密度,并且具有小于所述光刻系统的分辨率的间距;随后显影所述光致抗蚀剂,使得保留在所述层上的光致抗蚀剂具有由所述光掩模限定的三维轮廓;以及使用各向同性蚀刻剂蚀刻所述层,使得所述光致抗蚀剂的所述三维轮廓转移到所述层。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人ams有限公司,其通讯地址为:奥地利普雷斯特滕;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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