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龙图腾网恭喜无锡兴华衡辉科技有限公司申请的专利一种二类超晶格平整度的检测工装获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119197390B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411680533.9，技术领域涉及：G01B11/30；该发明授权一种二类超晶格平整度的检测工装是由高一枫;肖钰;牟宏山;赵勇飞设计研发完成，并于2024-11-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种二类超晶格平整度的检测工装在说明书摘要公布了：本发明公开了一种二类超晶格平整度的检测工装，涉及平整度的检测技术领域，本发明包括机台，所述机台顶面固定有放晶板，所述机台顶面开设有滑槽，所述机台的滑槽位于放晶板的背面，所述机台内壁设置有激光检测组件，所述激光检测组件包括螺杆，所述螺杆贯穿且转动安装在机台内壁左右侧，所述机台左侧固定安装有驱动模组，所述驱动模组的转轴右侧与螺杆的左侧固定连接，所述螺杆外壁滑动安装有滑管块，本发明通过感光板接收激光器发射的激光，让设备快速对多个二类超晶格进行检测，从而避免了检测工装难以同时对多个二类超晶格进行检测监测造成设备检测效率不佳的问题。

本发明授权一种二类超晶格平整度的检测工装在权利要求书中公布了：1.一种二类超晶格平整度的检测工装，包括机台（1），所述机台（1）顶面固定有放晶板（2），其特征在于：所述机台（1）顶面开设有滑槽，所述机台（1）的滑槽位于放晶板（2）的背面，所述机台（1）内壁设置有激光检测组件（11）；所述激光检测组件（11）包括螺杆（111），所述螺杆（111）贯穿且转动安装在机台（1）内壁左右侧，所述机台（1）左侧固定安装有驱动模组（112），所述驱动模组（112）的转轴右侧与螺杆（111）的左侧固定连接，所述螺杆（111）外壁滑动安装有滑管块（113），所述滑管块（113）的内壁与螺杆（111）的螺旋槽相互啮合，所述滑管块（113）外壁与机台（1）的滑槽内壁滑动接触，所述滑管块（113）顶面固定安装有激光器（114），所述激光器（114）的激光发射头设置在激光器（114）的正面底部，所述激光器（114）的左侧固定安装有直杆（115），所述直杆（115）外壁固定有凹槽块（116），所述凹槽块（116）位于放晶板（2）的正面，所述凹槽块（116）内壁转动安装有滚轮（117），所述凹槽块（116）的正面固定有L形架（118），所述L形架（118）的背面固定有感光板（119），所述感光板（119）位于激光器（114）的正对面，所述滑管块（113）的右侧设置有防卡顿组件（12）；所述防卡顿组件（12）包括回形壳（121），所述回形壳（121）固定在滑管块（113）的右侧顶部，所述回形壳（121）位于机台（1）的滑槽内部，所述回形壳（121）的内壁滑动安装有两个滑板（122），两个所述滑板（122）正对面中间固定有弹簧（123），两个所述滑板（122）相互远离的一侧分别固定有海绵块（124）；所述回形壳（121）顶面中间设置有防阻装置（3），所述防阻装置（3）正面中间设置有补光装置（4）；所述防阻装置（3）包括L形杆（31）、双环板（32）、两个竖环（33）、四个短柱（34）和两个倒角板（35），所述L形杆（31）固定在回形壳（121）顶面中间，所述双环板（32）固定在L形杆（31）的外壁上，所述双环板（32）内壁与直杆（115）外壁固定连接，所述双环板（32）位于靠近凹槽块（116）背面的一侧，两个所述竖环（33）固定在L形杆（31）外壁上，四个所述短柱（34）分别两两一组固定在两个竖环（33）右侧底部，两个所述倒角板（35）分别固定在四个短柱（34）的右侧；所述防阻装置（3）还包括两个衔接柱（36）、弧条块（37）、回形框（38）和三维扫描器（39），两个所述衔接柱（36）分别固定在两个竖环（33）顶面中间，所述弧条块（37）固定在两个衔接柱（36）的顶面，所述回形框（38）固定在弧条块（37）顶面，所述三维扫描器（39）固定安装在回形框（38）的内壁上；所述补光装置（4）包括L形细杆（41）、两个衔接环（42）、方壳（43）和LED灯（44），所述L形细杆（41）固定在回形框（38）正面中间，两个所述衔接环（42）固定在L形细杆（41）的外壁底部，所述方壳（43）固定在两个衔接环（42）的背面，所述LED灯（44）固定在方壳（43）的内壁上；所述补光装置（4）还包括横环板（45）、竖杆（46）和斜板（47），所述横环板（45）贯穿且固定在L形细杆（41）左侧顶部，所述横环板（45）位于方壳（43）的上方，所述横环板（45）顶面左边开设有圆孔，所述竖杆（46）固定在横环板（45）的内壁上，所述斜板（47）固定在竖杆（46）外壁左侧。

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