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龙图腾网恭喜深圳市曜通科技有限公司申请的专利半导体冲切生产设备检测诊断系统及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119400741B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411981970.4，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体冲切生产设备检测诊断系统及方法是由鲍永峰;陈盼盼设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体冲切生产设备检测诊断系统及方法在说明书摘要公布了：本发明属于设备检测技术领域，具体涉及半导体冲切生产设备检测诊断系统及方法，通过集成高精度监测装置实现物理参数的实时采集与稳定传输，确保数据完整性和时效性；利用动态数据分析聚焦影响冲切质量的变量变化，并即时进行微调，减少因参数不稳定引起的问题；结合视觉系统执行高精度边缘检测，准确评估每个产品的边缘平滑度并自动记录异常情况；通过对异常情况进行快速追溯和详细审查，确定导致毛刺的具体因素，并制定针对性改进措施。这种方法显著提升了冲切过程的可控性和产品质量，增强了生产的稳定性和产品的一致性。

本发明授权半导体冲切生产设备检测诊断系统及方法在权利要求书中公布了：1.半导体冲切生产设备检测诊断方法，其特征在于，包括以下步骤：在冲切设备上配置多个监测装置，用于采集冲切过程中的物理参数；基于监测装置所获取的数据，建立实时的数据流传输路径，具体包括：从监测装置接收原始物理参数数据，数据以时间序列形式表示，记作Dt，其中t为时间戳；利用数据Dt，构建一个缓冲区，缓冲区按照先进先出原则存储最近时间段内的所有数据点；基于缓冲区，计算每个数据点的时间差Δτ=τn-τn-1，并确保Δτ不超过预设的最大允许值MaxΔτ，其中，n代表在时间间隔ΔT内记录的数据点数量，τn为数据点的时刻；根据得出的时间差Δτ，通过公式QoS=Min1,MaxΔτΔτ评估数据流的质量指数QoS；利用数据流传输路径实施动态数据分析，聚焦于影响冲切质量的变量变化，具体包括：接收构建的数据流质量指数QoS值和物理参数数据Dt，并将其转换为标准化格式；基于标准化数据，计算每个变量的变化率ΔV=Vn-Vn-1Δτ，其中V代表任意物理参数，包括：力F、振动V或温度T；利用得出的变化率ΔV，确定影响冲切质量的关键变量集KV，选择满足条件|ΔV|Threshold的变量加入KV，Threshold为预设阈值；根据确定的关键变量集KV，通过公式ImpactScore=Σ|ΔVi|*Weighti计算每个冲切操作的影响评分ImpactScore，其中Weighti是为每个变量分配的权重；根据分析的结果，对冲切操作进行微调；结合调整结果，通过视觉系统捕捉冲切后的产品图像，并执行边缘检测，依据获得的产品图像信息，评估每个产品的边缘平滑度，并记录异常情况；对于记录的异常情况，追溯相关生产批次，审查批次内的所有参数记录进行回顾分析，基于回顾分析，确定引起毛刺的具体因素，并据此制定改进措施。

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